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薄膜試料作製装置
日本電子応用技術者の
永年の経験に基づいた
夢の薄膜試料作製装置
イオンスライサによる薄膜試料作製の概念図
- 簡便な手順で電子顕微鏡用の薄膜試料を作製
- 鏡面研磨やディンプルグラインダ処理をする必要がありません。
- 矩冊状に試料を加工するだけでイオン研磨処理が行えます。（左図）
- 柔らかい金属材料などでも歪が入りにくく、研磨時の破損も少ないので、効率よく試料作製が行えます。
- 硬度差の大きい試料や複合材料、脆い試料の薄膜作製も行えます。
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主な仕様
| EM-09100IS | |||||||
| イオン加速電圧 | 1 ∼ 8kV | ||||||
| 傾斜角 | 最大±6º(0.1ºステップ) | ||||||
| ビーム径 | 500μm(FWHM) | ||||||
| エッチングレート | 5μm/min(加速電圧:8kV、Si換算) | ||||||
| 使用ガス | アルゴンガス | ||||||
| 試料サイズ | 2.8mm(長さ)×0.5 mm(幅)×0.1mm(厚さ) | ||||||
| 圧力測定 | ペニング真空計 | ||||||
| 主排気装置 | ターボ分子ポンプ | ||||||
| CCDカメラ | 内蔵 | ||||||
| 寸法・質量 |
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設置条件
| EM-09100IS | |
| 電源 | 単相AC100∼120V±10%、50/60Hz、500 ∼ 600VA |
| 接地端子 | D種接地(100Ω以下) |
| アルゴンガス | 使用圧力：0.15±0.05MPa(1.0 ∼ 2.0kg/cm²) アルゴンガス使用流量：約0.2 cm 純度：99.9999%以上 ホース接続口: JIS B0203 Rc 1/8 ※アルゴンガス(配管またはボンベ)およびレギュレータはお客様にてご準備下さい。 |
| 室温 | 20 ∼ 25℃(変動: 1℃/h以内) |
| 湿度 | 60%以下 |
※外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
※装置設置用のテーブルをご準備下さい。
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このカタログに掲載した商品は、外国為替及び外国貿易法の安全保障輸出管理の規制品に該当する場合がありますので、輸出するとき、または日本国外に持ち出すときは当社までお問い合わせ下さい。 |
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 本社・昭島製作所 〒196-8558 東京都昭島市武蔵野3−1−2 TEL: （042）543-1111（大代表） FAX （042）546-3353 |
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