
主な仕様
| JCM-5100 | |
| 分 解 能 | 20nm |
| 倍 率 | ×35 ∼ ×75,000 (WD20mm) |
| 像の種類 | 二次電子像 |
| 電 子 銃 | カートリッジ交換方式 |
| 加速電圧 | 20kV |
| レンズ | 3段 |
| 非点収差補正 | 8極電磁X-Y方式 |
| 電磁視野移動 | 30μm |
| 試料移動範囲 | X:10mm, Y:20mm |
| 試料傾斜範囲 | -40º ∼ +60º |
| 試料回転 | 360º |
| 試料交換 | 試料ステージ引き出し式 |
| 試料寸法 | 最大32mmφ (オプション: 最大70mmφ) |
| 操作・画像表示 | IBM PC/AT互換ノートパソコン |
| O S | Windows XP |
※外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。