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断面試料作製装置
日本電子応用技術者の
永年の夢と経験を詰め込んだ
画期的な断面試料作製装置
- 表面に対して垂直な断面が作製できます(日本電子特許)。
- 従来の方法で難しかった試料でもきれいな断面が作れます。
- 従来の機械研磨ではつぶれて観察できない構造を忠実に保存します。
- 短時間で習得でき、すぐに完璧な断面仕上げができます。
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紙の断面は剃刀などで作製しますが、切断時に紙の繊維が押しつぶされることが避けられませんでした。 |
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金などのやわらかい材料の断面を損傷なく作ることができます。ボンディング接合部分のボイドなどの評価に適しています。従来から断面作製の手法として用いられている機械研磨法では、ボイドがつぶれる、金に研磨砥粒が埋め込まれる、界面の剥離が起こる、研磨傷が残るなどの問題がありましたが、CPによりアーティファクトのない断面作製が可能になりました。 |
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主な仕様
| SM-09010 | |||||
| イオン加速電圧 | 2 ∼ 6kV | ||||
| イオンビーム径 | 500μm(半値幅) | ||||
| ミリングスピード | 1.3μm/min(加速電圧: 6kV、シリコン換算、エッジ距離：100μm) | ||||
| 最大搭載試料サイズ | 幅11mm×長さ10mm×厚さ2mm | ||||
| 試料移動範囲 | X軸: ±3mm、Y軸: ±3mm | ||||
| 試料角度調節範囲 | ±5º | ||||
| 使用ガス | アルゴンガス | ||||
| 力測定 | ペニング真空計 | ||||
| 主排気装置 | ターボ分子ポンプ | ||||
| 寸法・質量 |
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| オプション | 試料回転ホルダ(SM-09011) |
設置条件
| SM-09010 | |
| 電源 | 単相AC100 ∼ 120V±10%、50/60Hz、0.5 ∼ 0.6kVA |
| 接地端子 | D種接地(100Ω以下) |
| アルゴンガス | 使用圧力: 0.15±0.05MPa(1.0 ∼ 2.0kg/cm²) 純度99.9999%以上(アルゴンガス、ガスボンベおよびレギュレータはお客様準備) ホース接続口: JIS B0203 Rc 1/8 |
| 室温 | 20 ∼ 25℃(変動: 1℃/h以内) |
| 湿度 | 60%以下 |
※外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
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このカタログに掲載した商品は、外国為替及び外国貿易法の安全保障輸出管理の規制品に該当する場合がありますので、輸出するとき、または日本国外に持ち出すときは当社までお問い合わせ下さい。 |
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 本社・昭島製作所 〒196-8558 東京都昭島市武蔵野3−1−2 TEL: （042）543-1111（大代表） FAX （042）546-3353 |
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