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断面試料作製装置
加工中の断面観察が可能な
クロスセクションポリッシャ(CP)です
- 表面に対して垂直な断面をCCDズームカメラでモニタすることにより加工時間の短縮が図れます。
- 内部構造がリアルタイムに確認できます。
- 高倍率CCDカメラ(オプション)を使用すると精度2μmの位置合わせが可能です。
- 回転試料ホルダ(オプション)を使用すると表面研磨も可能です。
主な仕様
| SM-09020CP Mark II | |||||||
| イオン加速電圧 | 2 ∼ 6kV | ||||||
| イオンビーム径 | 500μm(半値幅) | ||||||
| ミリングスピード | 200μm/2H(加速電圧:6kV、シリコン換算、エッジ距離:100μm) | ||||||
| 最大搭載試料サイズ | 幅11mm×長さ10mm×厚さ2mm | ||||||
| 試料移動範囲 | X軸: ±3mm、Y軸: ±3mm | ||||||
| 試料角度調節範囲 | ±5º | ||||||
| 使用ガス | アルゴンガス | ||||||
| 力測定 | ペニング真空計 | ||||||
| 主排気装置 | ターボ分子ポンプ | ||||||
| 寸法・質量 |
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| オプション | 試料回転ホルダ(SM-09011) 位置高精度CCDカメラ(IB-83910CCD) |
設置条件
| SM-09020CP Mark II | |
| 電源 | 単相AC100 ∼ 120V±10%、50/60Hz、0.5 ∼ 0.6kVA |
| 接地端子 | D種接地(100Ω以下) |
| アルゴンガス | 使用圧力: 0.15±0.05MPa(1.0 ∼ 2.0kg/cm²) 純度99.9999%以上(アルゴンガス、ガスボンベおよびレギュレータはお客様準備) 金属配管接続口:JISB0203 RC1/8 |
| 室温 | 20 ∼ 25℃(変動: 1℃/h以内) |
| 湿度 | 60%以下 |
| 設置面積 | 800mm(幅)×700mm(奥行き)以上 |
※外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
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このカタログに掲載した商品は、外国為替及び外国貿易法の安全保障輸出管理の規制品に該当する場合がありますので、輸出するとき、または日本国外に持ち出すときは当社までお問い合わせ下さい。 |
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 本社・昭島製作所 〒196-8558 東京都昭島市武蔵野3−1−2 TEL: （042）543-1111（大代表） FAX （042）546-3353 |
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